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微
光
刻
与
微
纳米
加
工技术
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渺) 原子尺度 核外电子分布半径10 -10m 最短的距离单位:普朗克量子长度10-35m 天体物理 地球物理 高能粒子物理 ...包括大规模及超大规模集成电路,砷化镓场效 应器件,真空微电子学器件,高效光电子学器件,超 导量子学器件,声表面波...
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半导体制造技术导论(第二版)萧宏 第9
章
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